金属源化学气相外延法在c面蓝宝石上生长的ZnO膜及其表征
本文利用Zn蒸气和H2O蒸气在高温下反应成功地在(0002)面蓝宝石衬底上沉积了厚达7-11 μm的高质量ZnO外延层,并发现利用预先由MOCVD低温生长的ZnO模板有助于改善外延层的结晶质量和形貌.XRD分析表明在ZnO模板上生长的ZnO膜消除了杂乱晶向,而且(0002)晶面的双晶X射线衍射摇摆曲线半高宽从2687 arcsec降低至295 arcsec.光学显微镜和扫描电镜(SEM)观察发现直接生长的样品表面呈岛状,粗糙度很大;使用模板后得到相对平坦的具有六角结构的表面.但模板对电学性质的影响仍然不太确定.
ZnO 气相外延 Zn蒸气 X射线衍射 扫描电镜
段垚 王晓峰 崔军朋 曾一平
中国科学院半导体研究所材料中心,北京,100083
国内会议
广西北海
中文
411-413
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）