n型与p型ZnO基稀磁半导体薄膜的制备与磁性研究

摘要：

ZnO基稀磁半导体是近年来发展起来的新型功能材料,是当前研究的热门课题.本文采用磁束缚电感耦合等离子体溅射沉积法制备了不同导电类型的ZnO:Co和ZnO:Mn薄膜,着重研究了其磁性和电学性能.测试结果表明,Co2+和Mn2+取代Zn2+并未改变ZnO的六方纤锌矿结构,n型ZnO:Co和p型ZnO:Mn薄膜都表现出室温的铁磁性,n型ZnO:Mn薄膜表现为顺磁性特征.n型和p型ZnO基稀磁半导体薄膜材料的制备为自旋电子器件的研发提供了必要的材料支撑。

关键词： ZnO薄膜 稀磁半导体薄膜 铁磁性能 电感耦合等离子体溅射沉积 电学性能 纤锌矿结构

作者: 陈之战 施尔畏 刘学超 张华伟 宋力昕

作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 420-424

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）