小规模CMOS集成电路可靠性快速评价新方法的研究

摘要：

CMOS集成电路由于自身的优秀的性能,已经广泛的应用在各个领域,伴随着电子产品功能的不断增强,集成电路复杂程度的逐步提高,其质量和可靠性也成为人们普遍关注的焦点.本文对CMOS集成电路可靠性评价技术进行了探索,改进了一种评价方法,通过直接建立器件失效敏感参数退化率与应力水平之间的关系,就可以由单支样品的数据,提取器件某一参数退化所对应的激活能,并外推其正常使用条件下的寿命.

关键词： CMOS集成电路 可靠性评价 激活能

作者: 刘鹏飞 郭春生 李秀宇 李志国

作者单位: 北京工业大学电子信息与控制工程学院可靠性研究室,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 800-803

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）