电子束重复增量扫描曝光技术的研究

摘要：

本文提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念.文中对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析,发现溶解速度随曝光剂量增加而增大.以此为依据,在SDS-3型电子束曝光机上采用20keV能量的电子束对570nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了重复增量扫描曝光实验,显影后得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥三维结构,证明了电子束重复增量扫描曝光技术的可行性,为电子束加工三维结构提供了新工艺.

关键词： 电子束曝光 吸收能量密度 溶解速度 抗蚀剂

作者: 孔祥东 冯圣玉 卢文娟 张玉林

作者单位: 山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100;东营职业学院科研处,山东,东营,257091 山东大学化学与化工学院,山东,济南,250100 山东大学控制学院电子束研究所,山东,济南,250061

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 796-799

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）