多层金属化系统中的蓄水池效应

摘要：

本文对于W通孔多层金属化系统来说,金属离子蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大.本文中设计了12种不同的蓄水池结构,进行电迁移实验.考察了蓄水池面积、通孔位置、数目及大小等对互连线的电迁移寿命的影响.得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.

关键词： 蓄水池效应 电迁移 多层金属化系统 互连线

作者: 李秀宇 吴月花 郭春生 刘鹏飞

作者单位: 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 790-795

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）