高可靠性16×16 SOI热光开关阵列

摘要：

文章在分析加热器对热光开关阵列可靠性的影响的基础上提出了一种新的热光开关阵列控制和驱动电路.分析表明,在假设加热器失效率为5％的情况下,新控制和驱动电路可以使16×16SOI热光开关阵列的可靠性从34.99％提高到92.30％.同时,采用引入控制信号预处理模式,使封装后的热光开关阵列输入输出端口数从34个减少到10个.在采用新的控制和驱动电路基础上,研制出高可靠性的16×16SOI热光开关阵列.

关键词： 热光开关阵列 驱动电路 可靠性 加热器

作者: 李运涛 陈少武 余金中

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 683-685

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）