非晶/微晶硅两相薄膜的电导机制

摘要：

本文在已有的非晶/微晶硅薄膜的生长和结构模型的基础上,根据有效介质理论提出微晶硅的电导机制是:3维孵化层电导与2维微晶柱电导的并联.基于这一导电机制较好地解释我们的实验结果.

关键词： 非晶硅 微晶硅 两相薄膜 电导机制

作者: 孔光临 郝会颖 刁宏伟 石明吉 曾湘波 廖显伯

作者单位: 中国科学院半导体研究所 中国地质大学(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 672-675

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）