液滴外延自组织GaAs纳米结构

摘要：

实验证实在GaAs(100)衬底上利用液滴外延法形成的Ga液滴的形貌随晶化温度和As束流的不同而发生变化,形成一些有趣的GaAs纳米结构,包括量子点、量子单环、量子双环、耦合量子双环、中国古币形状等.本文对这些纳米结构的生长机制进行了讨论.

关键词： 液滴外延法 GaAs衬底 量子点 量子单环 耦合量子双环 纳米结构

作者: 詹锋 黄社松 倪海桥 赵欢 熊永华 周宏余 牛智川

作者单位: 北京师范大学材料科学与工程系射线束技术与材料改性教育部重点实验室 中国科学院半导体研究所超晶格和微结构国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 166-169

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）