采用楔形连接波导和自对准反射镜的8×8阻塞型热光开关
本文通过改进热光开关单元和全内反射镜,设计和制作了基于SOI材料的8×8阻塞型热光开关矩阵.开关设计中,在单模波导和多模干涉耦合器之间引入楔形连接波导并进行优化,增大单模波导与多模波导之间的藕合效率,减小开关单元的损耗.此外,采用自对准方法提高全内反射镜的光刻容差.开关矩阵各端口的平均插入损耗约为21 dB,单个反射镜引起的附加损耗约为1.4 dB,串扰少于-21 dB.实验结果说明新设计改善了开关器件的整体特性,且与理论分析一致.
热光开关 楔形波导 全内反射镜 藕合效率
李智勇 李运涛 陈少武 余金中
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京市912信箱,100083
国内会议
广西北海
中文
656-659
2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）