一种新型的材料内应力测试方法——偏振透射差分法

摘要：

本文采用了一种全新的偏振透射差分法-PTD法(Polarization Transmittance Difference)来测量半导体衬底材料的内应力分布.在该方法中,由于使用了偏振调制技术,无需旋转样品或者偏振元件进行多次测量,因此使得测量过程变得简单、迅速,并准确给出整体材料的内应力二维分布图.此方法属于无损测试.

关键词： 偏振透射差分法 内应力 弹光效应 光弹性调制器 半导体衬底材料 偏振调制

作者: 赵玲慧 陈涌海

作者单位: 中科院半导体研究所,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 132-135

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）