电注入InGaAsP/InP等边三角形微腔激光器的制备

摘要：

采用普通光刻和感应耦合等离子刻蚀(ICP)技术制备了带输出波导InGaAsP/InP等边三角形微腔激光器.在低温连续电注入下测试了其光谱,一边长为25 μ m的器件在100k温度,注入电流为20mA的条件下激射.

关键词： 等边三角形微腔激光器 电流注入 InGaAsP InP 感应耦合等离子刻蚀 带输出波导

作者: 胡永红 黄永箴 陈沁 杜云 樊中朝

作者单位: 中国科学院半导体研究所,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 119-120

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）