光子晶体垂直腔型表面发射和接收光电子器件

摘要：

本文介绍了光子晶体垂直腔面发射激光器和光子晶体谐振腔增强型探测器的研制方法和主要制备工艺,如光谱测试,氧化工艺和光子晶体制作等,并对测试结果进行了分析.

关键词： 光子晶体 垂直腔面发射激光器 单模 光子面阵集成 谐振腔增强 光电探测器 光谱测试

作者: 宋倩 许兴胜 鲁琳 胡海洋 王春霞 杜伟 刘发民 陈弘达

作者单位: 北京航空航天大学理学院,北京,100083;中国科学院半导体研究所光电子研发中心,北京,100083 中国科学院半导体研究所光电子研发中心,北京,100083 北京航空航天大学理学院,北京,100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 98-101

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）