钛锆铪氧化物镀膜材料及其薄膜应用

摘要：

钛镐铪的氧化物都具有高折射率、低的光吸收及良好的透过性能，因此在光学、光电学方面 钛镐铪的氧化物应用广泛。此外，由于它们还具有其它一些独特的物理化学性能，使得 钛镐铪氧化物薄膜在微电子学、磁学、量子工程、表面工程等方面得到广泛应用。本文分别介绍了钛锆铪氧化物镀膜材料性能及在光学和其它领域的薄膜应用,并对市场状况进行了评估.

关键词： 钛锆铪氧化物 镀膜材料 折射率 透过性能

作者: 王星明 段华英 孙静 张明贤 储茂友 张碧田

作者单位: 北京有色金属研究总院,北京,100088

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国稀有金属学术交流会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 865-870

在线出版日期: 2006-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）