WTi合金靶材的制备技术
微波功率器件是微电子装备的核心和关键.其可靠性直接决定和影响着电子装备或组件的可靠性或使用寿命,器件金属化系统的质量又决定了微波功率器件的可靠性,要提高或保证微波功率器件的可靠性或使用寿命,必须采用多层难熔金属薄膜金属化系统.WTi是其中起扩散阻挡作用的必不可少的金属层,其质量的好坏直接决定了器件的可靠性.目前,金属化系统膜层是采用溅射沉积制备的,因此高质量的WTi溅射靶材是得到高性能WTi薄膜的前提. 传统上讲,合金的制备方法主要有熔炼法和粉末冶金法两类.
微波功率器件 可靠性 难熔金属薄膜 WTi合金靶材 溅射沉积 熔炼法 粉末冶金法
王星明 段华英 张明贤 储茂友 张碧田
北京有色金属研究总院,北京,100088
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2006-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）