干涉系统在拼接主镜共相位检测上的应用

摘要：

由拼接镜面实现的大口径望远镜主镜,需要对拼接子镜进行精确校正来实现子镜间的共面,使得望远镜取得接近其衍射极限的光学成像质量,子镜之间的垂向位移误差需要被校正到入射光波长的几分之一(＜100 nm).为实现此目标,在基于大口径迈克逊干涉原理的基础上设计了一套子镜间相位误差检测系统.该检测系统的创新性在于激光光源与白光光源同时应用,以对拼接主镜子镜间位置误差进行检测,检测的不确定度为5～6 nm,检测范围为30～40 μm,最后对该干涉检测系统的光学系统的设计进行分析,仿真出基于该检测系统的理论干涉图形,并得出较好的测试结果。

关键词： 干涉检测 拼接主镜 相位误差检测 拼接镜面 光学成像质量 激光光源

作者: 宋贺伦 鲜浩 姜文汉 王胜千

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院光电技术研究所,四川,成都,610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年激光技术发展与应用学术交流会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 228-231

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）