M型六角晶系铁氧体薄膜的研究进展

摘要：

本文综述了近期国内外M型六角晶系铁氧体薄膜的研究现状及进展,着重介绍了近十年国内外M型六角晶系铁氧体薄膜的成膜技术、成膜条件、物性分析以及研究结果等,并对国内外研究作了简单对比,同时,指出了M型六角铁氧体薄膜的发展方向.

关键词： 铁氧体薄膜 M型六角晶系 成膜条件

作者: 聂小亮 兰中文

作者单位: 电子科大电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国高性能软磁材料及其应用研讨会

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 111-118

在线出版日期: 2007-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）