激光辐照下YBCO高温薄膜表面腐蚀液膜的温度分布特征

摘要：

利用红外热像实时监测系统,获取YBCO激光辅助化学刻蚀中H3PO4液层的侧面红外热像,研究其溶液温度分布与热对流特性.红外灰度图可真实表现溶液中的温度分布情况和热对流情况,对激光化学刻蚀的热环境分析提供了有价值的红外监测数据,并为YBCO及其它材料的激光化学刻蚀表面特性实时监测提供了一种新的技术手段.本文所报道的YBCO高温超导薄膜激光辅助刻蚀、表面刻蚀特性的红外实时监测对YBCO薄膜刻蚀技术的研究具有重要价值.

关键词： 激光化学刻蚀 红外技术 高温超导 超导薄膜

作者: 刘娟秀 羊恺 补世荣 张天良 宁俊松 罗正祥

作者单位: 成都市电子科技大学电子工程学院微波中心 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 32-34

在线出版日期: 2006-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）