低微波表面电阻大面积均匀YBCO超导薄膜的低成本化学溶液法制备

摘要：

独立设计制作了一套气氛可控旋转加热处理炉系统,用于大面积高质量超导薄膜制备.在这套系统上,采用三氟乙酸金属有机物沉积(TFA-MOD)方法,在2英寸双面抛光LaAlO3单晶衬底上,制备出的YBCO超导薄膜显示出很高的外延生长质量和超导特性.对于240nm厚的外延薄膜,临界电流密度分布非常均匀,平均值超过6MA/cm2(77K,0T),表面微波电阻在77K,10GHz条件下为0.3 mΩ左右.

关键词： 超导薄膜 微波表面电阻 临界电流密度

作者: 王三胜 王林 吕学文 杜鹏 韩征和

作者单位: 清华大学物理系应用超导研究中心,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 19-22

在线出版日期: 2006-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）