ZnO/金刚石/Si多层结构的界面波特性

摘要：

金刚石有最大的杨氏模量,因此在所有材料中,金刚石有最高的声波速度,氧化锌(ZnO)压电膜,具有强压电性.由ZnO压电膜激励声波,并与金刚石表面互作用,从而得到声波的一些新传播特性,获得一种复合的新型SAW器件材料.本文给出了ZnO/金刚石/Si多层结构界面波的相位速度以及机电耦合系数特性.

关键词： 金刚石 多层结构 界面波 声波速度

作者: 黄广伦

作者单位: 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006和谐开发中国西部声学学术会议

会议地点: 四川都江堰

会议语种:中文

页码: 12-15

在线出版日期: 2006-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）