聚酰亚胺涂料在微细加工中的应用

摘要：

本文阐述了聚酰亚胺涂料不同与常规材料的物理及化学特性,并利用其独特的性质将其应用在红外焦平面器件中的铟柱制备及微型金属杜瓦瓶用薄膜电缆制作中,通过实验解决了工艺中的难题,取得很好的效果.

关键词： 焦平面器件 铟柱生长 薄膜电缆 聚酰亚胺涂料 微细加工

作者: 王海珍 陈程远 何英杰 刘虹波

作者单位: 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 263-266

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）