基于纳米/微米VO2红外探测器光电响应对比研究

摘要：

新型纳米结构的二氧化钒(VO2)热敏薄膜具有平均粒度为8 nm和在半导体相区电阻温度系数(TCR)为-6％～7％ /K.而通常用于非致冷红外探测器的VO2具有微米结构,粒度为1～2 μm、TCR约为-2％ /K.本文采用同样的器件设计,制备了基于纳米结构和微米结构的VO2薄膜128元线列器件,并对两种器件的光电性能进行了对比研究.测试结果表明:基于纳米结构VO2的器件响应率较基于微米结构的VO2器件高近3倍,前者器件的探测性能较后者得到了明显的改善.

关键词： 纳米材料 红外探测 二氧化钒 微测辐射热计 探测器 光电响应

作者: 何少伟 黄鹰 戴君 赖建军 王兴治 易新建

作者单位: 华中科技大学,光电子科学与技术学院,湖北,武汉,430074;国家光电实验室,湖北,武汉,430074 华中科技大学,光电子科学与技术学院,湖北,武汉,430074 华中科技大学,光电子科学与技术学院,湖北,武汉,430074;华中科技大学,图像处理和智能控制教育部重点实验室,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 186-188

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）