GaN基薄膜材料的均匀性测试系统

摘要：

本文利用光学方法对GaN基薄膜材料进行无损伤测试和评价,并搭建了相应的测试系统.通过对材料紫外波段透过率的面分布测试,得到对材料均匀性的定量评价.该系统在国内首次实现了对GaN基薄膜材料均匀性量化的测试.系统的研制成功为大面阵芯片的研制提供必要的筛选手段,对优化薄膜材料生长具有指导意义.

关键词： GaN 均匀性测试 薄膜材料 无损伤测试

作者: 苏志国 许金通 胡其欣 陈俊 袁永刚 龚海梅 李向阳 刘骥

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;山东大学,信息科学与工程学院,山东,济南,250100 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083 山东大学,信息科学与工程学院,山东,济南,250100

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 148-151

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）