可见/红外双波段阵列式滤光片设计与制作工艺研究

摘要：

双波段阵列式滤光片是集成式可见/红外双波段传感器的核心部件,本文分别采用干涉截止滤光方法和干涉吸收滤光法设计了蓝宝石衬底上红外和可见光波段的滤光膜系,实际测量两个波段的滤光膜的平均透过率均达到90％以上.同时采用光刻、电子束蒸发镀膜和剥离工艺完成了滤光片的制作.

关键词： 微型滤光片阵列 剥离工艺 双波段传感器

作者: 梁华锋 赖建军 周光超 李小平

作者单位: 华中科技大学,武汉光电国家实验室,湖北,武汉,430074;华中科技大学,光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074 华中科技大学,光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074 华中科技大学,武汉光电国家实验室,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 109-111

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）