光学读出红外成像及其FPA性能分析

摘要：

本文针对已提出的光学读出非制冷红外成像系统,设计研制了一种单元尺寸分别是50 μm×50 μm和60 μm×60 μn的新型双材料微悬臂梁红外焦平面阵列(FPA),进行了人体红外热成像实验,并对光学读出非制冷红外成像系统的温度-灰度响应曲线及噪声进行了测定.实验结果表明该微梁结构FPA构成的红外成像系统的噪声等效温度差(NETD)约100 mK.和课题组之前的研究结果(微梁单元尺寸120 μm × 120 μm,NETD约300 mK)相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善.

关键词： 非制冷红外成像 双材料微悬臂梁 光学读出 焦平面阵列 成像系统

作者: 高杰 焦斌斌 陈大鹏 董凤良 张青川 缪正宇 熊志铭 伍小平

作者单位: 中国科学技术大学,中科院材料力学行为和设计重点实验室,安徽,合肥,230027 中科院微电子研究所,北京,100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 101-104

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）