应力制约的InSb焦平面探测器均匀性

摘要：

本文采用焦平面探测器均匀性作为衡量InSb芯片承受应力的方法,通过工艺改进有效地降低了应力水平,提高了128×128 InSb焦平面探测器的均匀性,取得了响应非均匀性为3.0％的结果.

关键词： InSb 焦平面探测器 均匀性 应力制约

作者: 曹光明 付浩 耿东峰 徐淑丽 蒲季春 杨雪锋 李龙 何英杰 吴伟 张国栋

作者单位: 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 67-69

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）