非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜制备研究

摘要：

本文主要介绍了红外探测器的分类、发展,及基于氧化钒薄膜的热探测器的优势;采用直流对靶磁控溅射法制备氧化钒薄膜,通过设计正交实验,获得了氧化钒薄膜的最佳制备参数,分析了各个制备参数对氧化钒薄膜成分以及TCR的影响,研究了硅衬底上氧化钒薄膜电阻温度系数与电阻之间的关系.

关键词： 氧化钒 电阻温度系数 红外探测器 薄膜

作者: 胡明 梁继然 吴淼 吕宇强 韩雷 刘志刚

作者单位: 天津大学,电子信息工程学院,天津,300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 54-58

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）