非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜制备研究

本文主要介绍了红外探测器的分类、发展,及基于氧化钒薄膜的热探测器的优势;采用直流对靶磁控溅射法制备氧化钒薄膜,通过设计正交实验,获得了氧化钒薄膜的最佳制备参数,分析了各个制备参数对氧化钒薄膜成分以及TCR的影响,研究了硅衬底上氧化钒薄膜电阻温度系数与电阻之间的关系.
氧化钒 电阻温度系数 红外探测器 薄膜
胡明 梁继然 吴淼 吕宇强 韩雷 刘志刚
天津大学,电子信息工程学院,天津,300072
国内会议
上海
中文
54-58
2007-07-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)