会议专题

非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜制备研究

本文主要介绍了红外探测器的分类、发展,及基于氧化钒薄膜的热探测器的优势;采用直流对靶磁控溅射法制备氧化钒薄膜,通过设计正交实验,获得了氧化钒薄膜的最佳制备参数,分析了各个制备参数对氧化钒薄膜成分以及TCR的影响,研究了硅衬底上氧化钒薄膜电阻温度系数与电阻之间的关系.

氧化钒 电阻温度系数 红外探测器 薄膜

胡明 梁继然 吴淼 吕宇强 韩雷 刘志刚

天津大学,电子信息工程学院,天津,300072

国内会议

2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

上海

中文

54-58

2007-07-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)