锌膜氧化制备氧化锌薄膜的紫光发射

摘要：

通过锌膜在金属锌熔点(419℃)以上温度和50Pa的氧气压力下退火氧化的方法制备ZnO薄膜,研究了退火温度对ZnO薄膜组织结构及发光性能的影响.ZnO薄膜的室温光致发光谱是由发光中心在424nm处的单一紫光组成.随着退火温度的升高,紫光的强度增加,当温度超过600℃时紫光的强度反而降低.在50Pa氧气压力下,紫光的发射归因于电子从价带到锌间隙原子(Zni)缺陷之间的跃迁.

关键词： 氧化锌薄膜 脉冲激光沉积 紫光发射 X射线衍射 组织结构 发光性能

作者: 李赫 王昕

作者单位: 长春工业大学机电学院,长春,130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007高技术新材料产业发展研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 139-141

在线出版日期: 2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）