平面型铟镓砷线列探测器的制备及伏安特性研究

摘要：

本文通过闭管锌扩散制备了256元平面型铟镓砷(In0.53Ga0.47As)线列探测器,室温下焦平面平均峰值探测率为5.79×1011 cmHz1/2W-1,不均匀性为31％,平均峰值响应率为0.33 A/W.并且通过拟合其伏安曲线得到了器件的理想因子和串联电阻,基于这两个相互独立的参数可以对器件不同区域的性质加以考查,结果表明器件材料具有较好的均匀性,而器件的欧姆接触电阻偏大,且不均匀性达到39％,为工艺的改进提供了重要依据.

关键词： 铟镓砷 线列探测器 伏安曲线

作者: 吴小利 唐恒敬 张可峰 黄翌敏 韩冰 李雪 龚海梅

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 31-34

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）