生长温度对In0.82Ga0.18As表面形貌和结晶质量的影响

摘要：

本文采用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)技术,在InP衬底上外延生长In0.82Ga0.18As.研究生长温度对In0.82Ga0.18As表面形貌、结晶质量和Ⅲ族源铟镓比的影响.扫描电子显微镜观察样品的表面形貌.X射线衍射用于表征材料的组分和结晶质量.结果表明,生长温度强烈地影响In0.82Ga0.18As材料的表面形貌和结晶质量.样品的表面形貌随生长温度的增加由典型的2D生长模式过渡到3D生长模式.X射线衍射曲线半峰全宽为1 224、1 454、2 221、2 527 s,分别对应于生长温度为410、430、450、470℃四个样品.此外,Ⅲ族源铟镓比值也随生长温度的增加从0.42增大到4.62.

关键词： 铟镓砷 金属有机化学气相沉积 生长温度 结晶质量

作者: 张铁民 缪国庆 金亿鑫 于淑珍 蒋红 李志明 宋航

作者单位: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100049 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 28-30

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）