LBIC技术研究平面结与台面结InGaAs探测器

摘要：

室温铟镓砷(InGaAs)焦平面技术在军事与航天工业上的应用越来越广泛,铟镓砷(InGaAs)焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小,这使得常规工艺形成的光伏探测器的有效光敏元面积扩大的问题越来越突出.本文利用激光诱导电流检测(LBIC)系统测试了台面结和平面结InGaAs(p-i-n)探测器芯片的光敏元,证实了有效光敏面扩大的存在.从实验结果看,结区的侧向收集效应是造成台面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素;而掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应,是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素.

关键词： LBIC技术 InGaAs 探测器 光敏感区 激光诱导

作者: 张可锋 吴小利 唐恒敬 吕衍秋 乔辉 贾嘉 李雪 龚海梅

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083;中国科学院研究生院,北京,100039 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 23-27

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）