非制冷MEMS红外成像系统

摘要：

本文利用光力学效应设计研制了非制冷MEMS红外焦平面阵列及图像探测系统,提出并制作了新型间隔镀金的、无Si衬底的非制冷MEMS红外成像焦平面阵列,分析了FPA热响应时间、NETD、像元的一致性等问题,与光学检测系统共同组成红外成像系统,成功得到了室温背景下人体的热像.

关键词： 非制冷红外焦平面 MEMS 氮化硅 光力学效应

作者: 陈大鹏 焦彬彬 李超波 石莎莉 史海涛 程腾 张青川 伍小平

作者单位: 中科院微电子研究所,北京,100029 中国科学技术大学,安徽,合肥,230037

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 7-9

在线出版日期: 2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）