高次谐波体声波谐振器(HBAR)的模拟与制作

摘要：

许多电子系统需要低相位噪声的振荡器和滤波电路,而传统的晶体谐振器、声表面波谐振器以及微波谐振器往往要么达不到足够高的频率,要么在高频时Q值较低,从而达不到所需的要求.高次谐波体声波谐振器(HBAR)具有高工作频率、高Q值以及体积小的特点,特别适合在这些场合应用.本文主要对三种压电层厚度以及两种衬底厚度的HBAR器件进行了模拟分析,并给出了HBAR的工艺制作,最后分析了实际制作的HBAR器件.

关键词： 高次谐波体声波谐振器 微波振荡器 滤波器

作者: 汤亮 郝震宏 乔东海

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京海淀区北四环西路21号,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006和谐开发中国西部声学学术会议

会议地点: 四川都江堰

会议语种:中文

页码: 41-44

在线出版日期: 2006-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）