黑色LiNbO3和LiTaO3晶片SAW器件研究

摘要：

本文采用化学还原工艺成功地制备了LN和LT黑色晶片.在这些黑色晶片上制作了中心频率分别为36 MHz和446 MHz的SAW器件.研究表明,黑片工艺显著降低了晶片表面的静电,增加了近紫外光吸收,而其他性能不受任何影响,使SAW器件的终测合格率提高了5-10％.

关键词： 铌酸锂 钽酸锂 晶片 声表面波器件

作者: 夏宗仁 贝伟斌 崔坤 秦晓勇 吴剑波 朱怀烈

作者单位: 中电科技德清华莹电子有限公司,浙江德清,313216

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006和谐开发中国西部声学学术会议

会议地点: 四川都江堰

会议语种:中文

页码: 29-32

在线出版日期: 2006-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）