基于圆形振动膜的硅微压电超声换能器的设计

摘要：

本文介绍了一种基于圆形振动膜结构的硅微压电超声换能器的设计与制造.该传感器的振动膜直径为500 μm,氮化硅薄膜厚度约为1 μm,ZnO压电薄膜厚度为0.7 μm,传感器的中心频率设计为100 KHz.本文运用有限元方法分别模拟了圆形振动膜与传统的方形振动膜在热应力分析、静态分析和模态分析中的情况,结构说明圆形振动膜的稳定性更好,且不易损坏.

关键词： 振动膜 超声换能器 压电薄膜

作者: 郝震宏 汤亮 李俊红 乔东海

作者单位: 中国科学院声学研究所,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006和谐开发中国西部声学学术会议

会议地点: 四川都江堰

会议语种:中文

页码: 25-28

在线出版日期: 2006-08-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）