氢在化学气相沉积制备碳材料过程中的作用
化学气相沉积是目前广泛用于制备碳材料如纳米金刚石、碳纳米管、碳纳米尖端等材料的技术.在制备这些碳材料时,氢气是一种主要的反应气体,它形成的原子氢或离子氢在材料生长过程中对所形成的碳材料具有刻蚀作用,以及与碳材料表面上或内部的氢作用发生脱氢反应.但在不同的条件下,氢表现出刻蚀作用或脱氢作用.总结了氢在不同条件下的作用,提出了一些生长高质量碳材料的方法.
碳材料 纳米材料 化学气相沉积 脱氢反应 刻蚀作用
徐幸梓 张力 曾丁丁 陈玉安 韩志范
重庆大学材料科学与工程学院,重庆,400044
国内会议
成都
中文
19-20,23
2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）