溅射法制备VO2薄膜的研究现状

摘要：

主要介绍了VO2薄膜的微、宏观相变机理,阐述了溅射法制备VO2薄膜的优势及影响薄膜性能的一些因素,指出了今后VO2薄膜的研究重点.

关键词： 二氧化钒薄膜 溅射 影响因素 相变机理 薄膜性能

作者: 宋晶晶 张津 杨栋华

作者单位: 重庆工学院材料学院,重庆,400050

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007高技术新材料产业发展研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 112-114

在线出版日期: 2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）