透明导电SrCu2O2薄膜的制备技术与生长机制的探讨

摘要：

SrCu2O2(SCO)是一种新型可掺杂为p型导电的直接带隙透明氧化物半导体,其沉积温度低,基于pSrCu2O2和n-ZnO薄膜已经成功制备了异质结透明近紫外发光二极管,预示着其广阔的应用前景.对SCO薄膜的几种制备技术的特点进行了详细说明,结合”域匹配外延”的观点讨论了SCO在ZnO上的外延关系,并提出了SCO膜生长机理方面需要解决的问题.

关键词： 氧化物半导体 SrCu2O2薄膜 异质外延 生长机理 制备技术

作者: 方亮 高岭 董建新 彭丽萍 刘高斌 汪立文

作者单位: 重庆大学数理学院应用物理系,重庆,400044;重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆,400044 重庆大学数理学院应用物理系,重庆,400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007高技术新材料产业发展研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 98-101

在线出版日期: 2007-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）