PSD在激光位移检测系统中的应用研究
PSD(Position Sensitive Detector)是一种新型位置敏感探测器件,具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点.首先介绍了PSD器件的工作机理,阐述了基于光三角原理的激光位移检测系统的工作原理,给出PSD应用于激光位移检测系统的总体结构框图,并且针对PSD的电流信号与被测位移量之间的非线性关系,提出了有效的非线性修正电路.最后通过对影响系统测量精度的因素进行详细分析,从中看出PSD可应用于高精度的激光位移检测系统中,并且具有高速度、高精度、非接触和在线检测等优点.
光学三角原理 PSD 非接触测量 激光位移检测 位置敏感探测器件 在线检测
段洁 孙向阳 蔡敬海 周娜 肖作江
长春理工大学,吉林,长春,130022
国内会议
长春
中文
281-284
2007-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）