高剂量轻离子辐照感生缺陷汲取铂的试验研究
研究2×1016 cm-2剂量氦注入感生缺陷形成的高浓度空位,分别在700°C/100min、700°C/100min+900°C/60min和700°C/100min +1000°C/100min 等退火条件下形成的纳米空腔在800°C/120min 条件下对铂的汲取作用.结果表明,700°C/100min 和700°C/100min+900°C/60min 条件下形成的空位团所汲取的铂大多是替位,因此在氦注入射程末端,EC-0.23eV缺陷态浓度出现极大,且电活性铂浓度会随空位团长大而增加,最高达到了3.6×10 14 cm-3 .与小剂量He 注入汲取铂的最高浓度1.9×10 13 cm -3 相比,纳米空腔汲取铂的浓度提高了一个数量级,将近是低剂量汲取的20 倍,这将会大大的缩短器件的开关时间.而1000°C/60min 条件下长大的空位团汲取的铂,电活性成分所占比例很小.
空位团 纳米腔 铂汲取 离子辐照
胡冬青 亢宝位 吴郁 韩宝东
北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,100022
国内会议
西安
中文
2006-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）