正弦相位调制半导体激光自混合干涉微位移测量系统

摘要：

本文为提高激光自混合干涉仪的测量精度,研究了自混合干涉信号的正弦调制解调方法,将测量精度提高至纳米量级。

关键词： 微位移测量系统 测量精度 激光自混合干涉 正弦相位调制

作者: 郭冬梅 王鸣

作者单位: 南京师范大学物理科学与技术学院,江苏省光电重点实验室,江苏,南京,210097

会议类型: 国内会议

会议名称: 长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 230-234

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）