用于光束整形的衍射光学元件的设计和制作

摘要：

本文结合光束整形相位器件的设计和制作实例,介绍最新提出的衍射光学元件(DOE:Diffractive Optical Elements)设计方法和可行的制作工艺方案。经过对实际制作的16台阶器件的测试,验证了该种基于迭代框架中的优化方法的正确性,同时,证明了采用多台阶相位结构的工艺方案能够有效提高工艺宽容度。通过对工艺误差的理论分析,对粒子束多次掩摸套刻工艺提出了有效的改进方案。

关键词： 衍射光学元件 光束整形 多台阶相位结构 工艺宽容度

作者: 张巍 张晓波 舒方杰 邬融 李永平

作者单位: 中国科学技术大学,物理系,安徽,合肥,230026

会议类型: 国内会议

会议名称: 长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 200-204

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）