基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制

摘要：

研制了一种采用0.35μm标准CMOS工艺制造的,集成ISFET/REFET及其信号处理电路于一体的集成化芯片系统(SOC).其中ISFET敏感膜为采用电化学法制备的导电聚合物Ppy(聚吡咯),通过对各种条件的优化,最终得到了pH响应为56mV/pH的高灵敏度.

关键词： 离子敏场效应管 聚吡咯 敏感膜 集成化芯片 电化学

作者: 汪祖民 孙红光 韩泾鸿 边超 陈绍凤 夏善红

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100080 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 贵阳、沈阳

会议语种:中文

页码: 1065-1066

在线出版日期: 2006-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）