采用法拉第杯评价ESEM的电荷环境
(0) 采用环境扫描电镜(ESEM),非导体及含水样品不经过表面喷金或喷碳处理就能直接观察.在ESEM样品室中,电子-离子-样品相互作用,构成了一个复杂的动态电荷环境:入射电子(PE),二次电子(SE)、背散射电子(BSE)受到气体的散射作用;气体分子被PE、SE、BSE电离产生正离子流向样品表面运动,并与电子中和;离子场对SE的场助发射作用等.因此测量及评价ESEM的电荷环境,可为消除荷电效应,或利用荷电效应成像提供依据. 本项目采用高灵敏度的pA-电流表,在高真空(HV)和环境真空(ESEM)中,测量法拉第杯的样品电流(ISP),评价ESEM样品室内的电荷环境。
环境扫描电镜 法拉第杯 样品电流 电荷环境
付景永 张隐奇 田彦宝 徐学东 韩晓东 吉元
北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京,100022
国内会议
沈阳
中文
140-141
2006-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）