磁控溅射MoS2-Ti复合膜的显微结构
过渡金属硫化物MoS2为层状结构,层内为强的化学键,层间为极弱的范德华力.MoS2因其分子间这种特殊的层状结构而具有良好的自润滑性能,因此常用作固体润滑剂.MoS2涂层可以大大降低工件表面的摩擦和摩损,提高工件的使用效率,延长工件的使用寿命.但纯MoS2难以在空气中长期使用,特别是在潮湿的空气下,MoS2极易发生氧化变质,从而降低MoS2润滑剂的使用寿命.磁控溅射具有成膜速率高、沉积温度低、膜层厚度均匀和膜层组织致密等优点,已广泛用于各种耐磨、耐蚀和抗氧化镀层的制备.
磁控溅射 过渡金属硫化物 复合膜 层状结构 范德华力 固体润滑剂 显微结构
李永良
北京师范大学分析测试中心,北京,100875
国内会议
沈阳
中文
87-88
2006-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）