波谱仪无谱峰故障的维修

摘要：

本文针对S360型SEM附带的WDX-3PC型WDS其谱图中无任何特征谱峰故障现象进行分析和讨论,并找出故障的成因。

关键词： 波谱仪 无谱峰故障 故障维修 故障成因 排除法

作者: 许宏飞 王存龙 陈海潮 周鸿斌

作者单位: 中国兵器工业第五二研究所,山东,烟台,264003

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国电子显微学会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 207-208

在线出版日期: 2006-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）