电子探针及镀膜仪故障三例与镀膜仪样品架的设计

摘要：

各种大型精密的电子显微镜,都有一个真空系统,主要给仪器的电子枪和镜筒部分提供一个高真空的空间,使电子枪发射的电子束在经过镜筒时不受气体分子的干扰,有利于形成高质量的电子显微图像,有利于进行高质量的微区成份分析.真空系统在使用过程中,由于有机械部分、电子测量与控制部分、冷却水循环部分,因此故障率较高.为了与同行相互交流经验,本文将JCXA-733电子探针及JEE-4X真空镀膜仪的真空部分的三例故障分析和排除方法介绍。

关键词： 电子显微镜 真空镀膜仪 真空系统 故障分析 故障排除

作者: 肖少泉 姚正学 吴百一

作者单位: 中国地质大学,地质过程与矿产资源国家重点实验室,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国电子显微学会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 205-206

在线出版日期: 2006-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）