薄膜的截面TEM样品制备
薄膜材料的厚度仅为微米量级或者更薄,对其微结构的研究十分困难,许多表征方法难以采用.透射电子显微分析(TEM)是薄膜材料微结构研究最重要的手段之一.尽管采用TEM平面样品研究薄膜的微结构在样品制备方面相对容易,但由于薄膜依附于基材生长,且通常具有择优取向和柱状晶生长等微结构特征,因而采用截面样品从薄膜生长的横断面进行观察和研究,可以得到更多的材料微结构信息.但是薄膜的TEM截面样品制备过程较为繁杂,难以掌握.已有的文献主要介绍了Si基片上生长薄膜的TEM截面样品制备方法,对金属基片薄膜截面样品的制备方法介绍不多. 本文以不锈钢基材上沉积的纳米多层硬质陶瓷薄膜为例,详细介绍了金属基片上薄膜截面TEM样品的制备方法与步骤。
薄膜材料 材料厚度 薄膜截面 TEM 样品制备 硬质陶瓷薄膜
林舒 孔明 戴嘉维 李戈扬
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030
国内会议
沈阳
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202-203
2006-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）