一种微机械陀螺仪仿真分析

摘要：

根据微机械陀螺仪的灵敏度公式要使它具有高灵敏度,它的驱动模态固有频率和检测模态的固有频率应尽量接近.本研究通过CoventorWare软件中的系统模块进行建模、仿真、分析,改变陀螺仪的结构参数,使它的固有频率接近,达到优化设计目的.

关键词： 微陀螺仪 灵敏度 固有频率 系统模块 系统仿真

作者: 杨晓波 李德胜 刘本东 杨建坤

作者单位: 北京工业大学微机电研究所,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第八届青年学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 957-959

在线出版日期: 2006-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）