用于高分辨率成像系统的微型灵巧扫描器研究

摘要：

基于微光学扫描原理,设计了一对微透镜阵列,通过MOEMS(微光机电)制作工艺,利用不同折射率的材料制作了两组凸透镜阵列,并利用压电陶瓷驱动其中一个凸透镜阵列做二维移动,实现了对入射波长为637nm的激光光束的二维扫描,扫描角度为±6.5°.该扫描器可以用在分视场成像系统中,实现高分辨率的探测.

关键词： 扫描器 微透镜阵列 微光机电 高分辨率 分视场成像系统

作者: 陈四海 向思桦 董珊 马冬新 赖建军 易新建

作者单位: 华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北,武汉,430074 武汉光电国家实验室,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国宇航学会深空探测技术专业委员会第三届学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 150-154

在线出版日期: 2006-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）