半导体和TFT生产中的洁净室静电控制和空气电离

摘要：

作为IT工业的主要支柱,半导体集成电路和薄膜晶体管显示器(TFT)的最关键和重要的制程都是在洁净室内完成.洁净实内恒定的温度和湿度控制,使得物体表面的静电荷既容易产生又容易长时间的维持和积累.而高静电,会导致微粒污染,静电放电破坏以及电磁干扰等问题.随着制造技术的不断发展,产品对静电放电的敏感度也越来越高,如何控制静电和消除静电带来的问题,已成为一项挑战.

关键词： 半导体 洁净室 静电控制 空气电离

作者: 管伟

作者单位: Ion Systems Inc.

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届国际污染控制学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1696-1701

在线出版日期: 2006-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）